中科飞测（SH 688361，收盘价：74.33元）12月28日晚间发布公告称，深圳中科飞测科技股份有限公司于近日收到人民币5694万元的政府补助款，其中与收益相关的政府补助5374万元，与资产相关的政府补助320万元。
2022年1至12月份，中科飞测的营业收入构成为：无图形晶圆缺陷检测设备占比50.06%，图形晶圆缺陷检测设备占比25.47%，量测设备占比23.08%，其他业务占比1.4%。
中科飞测的总经理、董事长均是陈鲁(CHEN LU)，男，46岁，学历背景为博士。
截至发稿，中科飞测市值为238亿元。
